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韶關優質直流磁控濺射(shè)電源設備廠

2022-07-29
韶關優質直流磁控濺射電(diàn)源設備廠

韶關直流磁控濺射電源設備廠選用了領先的PWM脈寬調製技術,具有傑出的動態特性和抗幹擾才能,動(dòng)態呼應時刻小於(yú)10mS。規(guī)劃有電壓、電流雙閉環操控電路,可實時(shí)對輸出電壓電流的操控,能有用處理(lǐ)濺射過程中陰極靶麵的不清潔導(dǎo)致(zhì)弧光放電造成大電流衝擊導致電源的損壞(huài)疑(yí)問。選用數(shù)字化DSP操控技術,主動操控電源的恒壓恒流狀況。在起弧和維弧時能主動疾速操(cāo)控電(diàn)壓電流(liú)使起弧和維弧作業更安(ān)穩。優質直流磁控濺射電源設備廠真空室裏的堆(duī)積條件跟著時刻發作(zuò)改動是常見的(de)表(biǎo)象(xiàng)。在一輪(lún)運轉過中,蒸發源的(de)特性會跟著膜材的耗費而改動,尤(yóu)其是規劃中觸及多層鍍膜時,假如技術進程需繼續數個小時,真空室的熱梯度也會上升。一起,當真(zhēn)空室內壁發作(zuò)堆積變(biàn)髒時,不一樣次序的工效逐步發生區別(bié)。這些要素雖然是漸進的並可(kě)以進行抵償,但仍然大概將其視為體係公(gōng)役(yì)的一部分。

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韶關直流(liú)磁控濺射電源設備廠擴散泵連續使用6個月以上,抽速明顯(xiǎn)變慢,或操作失(shī)當,充入大氣,拆去聯結(jié)水管,卸下電爐盤,將(jiāng)一級(jí)噴(pēn)嘴擰出,先用汽油將泵腔及(jí)泵膽清洗一遍,再用洗衣粉兌水清洗一遍,然後用清水徹底清(qīng)洗幹淨,待水份揮發幹以後,優質直流磁控濺射電(diàn)源設備廠裝好泵膽,加入新擴散(sàn)泵油,並裝回機體(tǐ),接好水管,裝好電爐盤,便可以重新開機。在重新開機前(qián),要注意檢漏工作。方法是:啟動維(wéi)持泵,關好大(dà)門,數分鍾後,觀察擴散泵部分真(zhēn)空度是否達到6X10帕,否(fǒu)則要進行檢漏。檢查聯接處是否裝密封膠圈,或壓(yā)壞密(mì)封圈。排除漏氣(qì)隱患後方可加熱,否則擴散泵油會燒環無法進入工作狀態。

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韶關直流磁控濺射電源設備廠使用說明1、產品拆開包裝後檢查整(zhěng)體是否完(wán)好,並仔細閱讀使用說明書,才可通電。2、產品暫時不接任何負(fù)載情況下,接通交流電源。3、恒流使用方法:接入負載前調節電流旋鈕到最小值,電壓調節到用戶的規定值,然後接(jiē)通負(fù)載,順時針(zhēn)調(diào)節電流(liú)旋鈕,觀察電流,達到規定的限流值,輸出電壓將隨負載大小發生變化。優質直流磁控濺射電源設備廠注意(yì):在恒流狀態下(xià)千萬(wàn)不再去動電壓調節旋鈕。4、恒(héng)壓(yā)使用方法:首先是(shì)將電流旋鈕順時針調大(dà),在調節電壓旋鈕達到規定值,此時電壓是恒定值。

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韶關直流磁控濺(jiàn)射電源設備廠1、DEF-6B電子槍電源櫃的操作:1)打開總電源2)同時開電子槍控(kòng)製Ⅰ和電子槍控製Ⅱ電源:按電子槍控(kòng)製Ⅰ電(diàn)源(yuán)、延時開關,延時(shí)、電源及保護燈亮,三分鍾後延時及保護燈(dēng)滅,若後門未關好或水流繼電器有故障,保(bǎo)護燈會常亮。3)開高壓,高壓會達到10KV以上,調節束流可到200mA左右,簾柵(shān)為(wéi)20V/100mA,燈絲電流1.2A,優質直流磁控濺射電源設備廠偏轉電流在1~1.7之間擺動。2、關機順序:1)關高真空表頭、關分子泵。2)待分子泵顯示(shì)到50時,依次關高閥、前級、機械泵(bèng),這期間約需40分鍾。3)到50以下時,再關(guān)維持泵(bèng)。

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