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嘉興高品質單極脈(mò)衝(chōng)磁控濺射電源設備廠

2022-10-08
嘉(jiā)興高品質單極脈衝磁控濺射電源設備(bèi)廠

嘉興單極脈衝磁控濺射電源設備廠大功率開關電源廠家(jiā)可調(diào)電源(yuán)是采用當前國際先進的高頻調製技術,其工作原理是將開關電源的電壓和(hé)電流展寬,實現了電壓和電流的大(dà)範圍調節,同時擴大了目前直流電(diàn)源供應(yīng)器的應用。高品質單極脈衝磁控濺射(shè)電源設備廠大功率高壓電源輸出頻率與輸入交流頻率存在偏(piān)差時,大功率高壓電源輸出(chū)頻(pín)率跟蹤輸入交流頻率變化的速度,輸入頻率由跟蹤頻率(lǜ)範圍下(xià)限至上限突變時,輸入頻率突變範圍與輸出頻率(lǜ)跟蹤至輸入頻率上限時(shí),所用的(de)時間比值即為頻率跟蹤速率。頻率(lǜ)跟(gēn)蹤速率過大時,逆變器對(duì)市電頻率的變(biàn)化過(guò)於敏感,當市電電壓波形高次諧波成份過大,或波形失真嚴重時,逆變器都(dōu)可(kě)能誤認為市電頻率變化而盲目跟蹤,從而造成逆變器工作頻率不穩定或抖動,反之,如果頻率跟蹤速率過小,則在市電頻率發生變化的過程中。

嘉興高品質單極脈衝磁控濺射電源設(shè)備廠

嘉興(xìng)單極脈衝磁控濺射電源設備廠鏡(jìng)片在接受(shòu)鍍膜前必(bì)須進行預清(qīng)洗,這種清洗要求很(hěn)高,達(dá)到分子級。在(zài)清洗槽中分別放置各種清洗液,並采用超聲波加強清洗效果,當(dāng)鏡片清洗完後,放進真空艙內(nèi),在此過程中要特別注意避免空氣(qì)中的灰塵和垃圾再黏附在鏡片表麵。高品(pǐn)質單極脈衝磁控濺射電源設備廠最後的清洗是在真空(kōng)艙內,在此過程中(zhōng)要特別注意避免空氣中的灰塵和垃圾再黏(nián)附在鏡片表(biǎo)麵。最後的清洗是在真空艙內鍍前(qián)進行的,放置在真空艙內的離(lí)子槍將轟擊鏡片的表麵(例如用氬離子),完成此道清洗工序後即進行減反射膜的鍍膜。

嘉興(xìng)高品質單極脈衝磁控濺射電源設備廠(chǎng)

嘉興單極脈衝磁控濺射電(diàn)源(yuán)設備廠擴散泵連續使用6個月以上,抽速明顯變慢,或操作失當,充入大氣,拆去聯結水(shuǐ)管,卸下電爐盤,將一級噴(pēn)嘴擰出,先用汽油將泵腔及泵膽清洗一遍,再用洗衣粉兌水清洗一遍,然(rán)後用清水徹底清洗(xǐ)幹淨,待(dài)水份揮發幹以(yǐ)後,高品質單(dān)極脈衝磁(cí)控濺射(shè)電源設備廠裝好泵膽,加入新擴散(sàn)泵油,並裝回機體,接好水(shuǐ)管,裝好(hǎo)電爐盤(pán),便可以重新開機。在重新(xīn)開機前,要注意檢(jiǎn)漏工作。方(fāng)法是:啟動(dòng)維持泵,關好大門,數分鍾後,觀察擴散泵部分真空度是否達到(dào)6X10帕(pà),否則要進行(háng)檢(jiǎn)漏。檢查(chá)聯接處是否裝密封膠圈,或(huò)壓壞密封圈。排除漏氣(qì)隱患(huàn)後方可(kě)加熱,否則擴散泵油會燒環無法進(jìn)入工作狀態。

嘉興高品質單極(jí)脈衝磁控濺射電源設備廠

嘉(jiā)興單極脈衝磁控濺射電源設備廠真空鍍膜(mó)電源每(měi)完(wán)成200個鍍膜程序以上,應清潔工作室一次。方法是:用燒堿(NaOH)飽和溶液反複擦洗真空室內壁,( 注意人體皮膚不可以直(zhí)接接觸燒堿(jiǎn)溶液,以免灼傷)目的(de)是使鍍上去的膜料鋁(AL)與NaOH發生反應,反應後膜(mó)層脫落(luò),並釋放出氫氣。再(zài)用清(qīng)水清洗真空室和用布沾汽油清洗精抽閥內的汙垢。高品質單極脈衝磁控濺射電源設備廠當粗抽泵(滑閥泵,旋片泵)連續工(gōng)作一個月(雨季減半),需更換新油。方法是:擰開放油螺栓,放掉(diào)舊油,再將泵啟(qǐ)動數秒,使泵內的舊(jiù)油完全排放出來。擰回放油(yóu)螺栓,加入(rù)新油至額定量(油視鏡觀(guān)察)。連續使(shǐ)用半年以(yǐ)上,換油(yóu)時(shí)應將油蓋(gài)打開,用布(bù)擦幹淨箱內汙垢。

嘉興高品質單極脈衝磁控濺射電源設備廠

嘉興單極脈衝磁控濺射電源設備廠真空鍍膜電源的樶大特色及商品優勢:選用了領先的(de)PWM脈寬調(diào)製技(jì)術,具有傑出的動態特性和抗幹擾才能,動(dòng)態呼應時(shí)刻小於(yú)10mS。規劃有電壓、電流雙(shuāng)閉環操(cāo)控電路,可實時(shí)對輸出電壓電流的操控,能有(yǒu)用處(chù)理濺射過程中陰極靶麵(miàn)的不清潔導(dǎo)致弧光放電造(zào)成大電(diàn)流衝擊導致電源的損壞疑(yí)問。選用數字化DSP操控技術,高品質單極脈衝磁控(kòng)濺射電源設備廠主動操控電源(yuán)的恒壓恒(héng)流狀況。在起弧和維弧時(shí)能主動疾速(sù)操控電壓電流使起弧和維弧作(zuò)業更(gèng)安穩。具有電壓陡(dǒu)降特性,可充沛滿意磁控濺射的特殊要求。電源的輸出電壓電(diàn)流操控精度小於0.2%。具(jù)有模擬量操控接口,用戶的4-20mA信(xìn)號能(néng)操控電(diàn)源(yuán)的電(diàn)壓電(diàn)流,電源輸出4-20mA信號供用戶(hù)的PLC顯現電(diàn)源的輸出(chū)電壓電流。 電源的功率因數高達0.95,電源功率≥90%。

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