離（lí）子源電源的工（gōng）作原理主要是基於氣體放電原理。當氣體在離（lí）子源的陽極和陰極之間通過時，其陽極的（de）正電壓與內外陰極兩端之間施加的強磁場相互作用，產生（shēng）等離子體。等離子體中的離子受（shòu）到陽極電場的驅動，導（dǎo）致離子源產生離子束射流。此外，不同類型的離（lí）子源，如高（gāo）

ISPC離（lí）子源電源是（shì）一種專門為（wéi）離子（zǐ）束蝕刻、沉積、熔合等工藝而設計的高頻電源。它具有以下幾個主要功能：高頻發生器：ISPC離子源電源內置（zhì）高頻發生器，能夠（gòu）提供高頻電（diàn）場，使離子源中的氣體分子被電離形成離子束。穩定性強：該電源采用先進的控製技術（shù）和傳（chuán）