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真空鍍膜電源
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離子源電源理想的磁場設計

2020-07-15 00:00:00

離子源電源理想的磁(cí)場設計體(tǐ)現為:一(yī)方麵盡可能擴大磁場橫向分量的麵積與強度,另一方麵樶大程度的(de)控(kòng)製和(hé)限製弧斑的運動。由於工具鍍膜持續時間較長,對膜層的性能要求較高,工業應用的離子鍍(dù)弧(hú)源應(yīng)具備(bèi)以下幾點特(tè)性(xìng):(1)放電穩定,不經常滅弧;(2)弧斑運動約束合理,不跑弧;(3)靶材利用率高;(4)弧斑細膩,放電功率密度小,大顆粒少;(5)等離子體密度以(yǐ)及離化率高,向工件輸運的等離子體(tǐ)通量足夠。

離子源電源

真空鍍膜電源技術的離子源電源:提高工具、模具的加工(gōng)質量(liàng)和使用壽命一直是人們不斷探索的課題。電弧(hú)離子鍍技術是一種工模(mó)具材(cái)料表麵改性技術,具有離(lí)化率高、可低溫沉積、膜層質量好以及沉積速率快等(děng)其他鍍膜方式所不具備的優勢,已(yǐ)在現(xiàn)代工具以及各種(zhǒng)模具(jù)的表麵防護取得了理想的應用效果。但是,電(diàn)弧放電導致的大顆粒存在限製了工模具(jù)塗層技術的進一步應用,也成為後期電弧離子鍍技術發展的主要論題。


離子鍍弧源是電弧等(děng)離子體放電的源頭,是離(lí)子鍍技術的關鍵部件。電弧離子鍍采用的弧源是冷陰極弧源,這(zhè)種弧源中電弧的行為被陰極表(biǎo)麵許多快速遊動、高度明亮的陰極斑點(diǎn)所控製。在發展和完善電(diàn)弧(hú)離(lí)子鍍技術的過程中,對電弧陰極斑點運動的有效控製至關重要,因為這決定了電弧放電的穩定性、陰極靶材(cái)的有效利用、大顆粒的去除、薄膜質量的改善等(děng)諸多關鍵問(wèn)題(tí)的解(jiě)決。國內外一直致力於這方麵的工(gōng)作,研究熱點主要集中在(zài)磁(cí)場控製的弧源設計上(shàng)。由於真空鍍膜(mó)電源電弧的物(wù)理(lǐ)特性,外(wài)加電磁場是控製弧斑運動的有效方法,目(mù)前所有的磁場設計都是考慮在靶麵形成一定的磁場位形,利用銳角法則限製弧斑的運動(dòng)軌跡,利用橫向分量提高弧斑的運動(dòng)速度。


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