真空鍍膜電源采用先進的PWM脈(mò)衝寬度調製技術性,具備良好的動態性(xìng)性能和抗幹擾性才可(kě)以,動(dòng)態性映襯時時刻刻十分小。整體規劃有工(gōng)作電壓.電流量(liàng)雙閉環控製操(cāo)控電源電路,可即時對輸出(chū)電流電壓的操控。在起弧(hú)和維弧時要積極急速操控電流電壓使起弧和維弧工作更穩定,減壓穩壓閥精密(mì)度大大的發展,能有效節(jiē)約濺射靶材使(shǐ)用量,發展生產能力,保證 鍍膜品質。
真空機電源的大的特點及產品優點:采用了先進的PWM脈衝寬度調製技術性,具備良好的動態性性(xìng)能(néng)和抗幹擾(rǎo)性才可以,動態性映(yìng)襯時時刻刻低於10mS。整體規劃有工作(zuò)電壓.電流量雙閉環控製操控電源電路,可(kě)即時對輸出電流電壓的操控,能有效解決磁控(kòng)濺射流程中負極相對孔徑的不清理造成電光(guāng)充放電導致大電流量衝擊(jī)性造成電源的(de)毀壞疑惑。
采(cǎi)用智能化DSP操控技術性,積(jī)極操控電源的(de)恒流源恒(héng)流電源情(qíng)況。在起弧和維弧時(shí)要積極急速操控電流電壓使起弧和維弧工作更穩定。具備工作電壓陡降(jiàng)特點,可充足令人滿意射頻濺(jiàn)射的特別要求。
電源的輸出電流電壓操控(kòng)精密(mì)度低於0.2%。具(jù)備模擬量輸入操控插口,客戶的4-20mA數(shù)據信號能操控電源的電流電壓,電源輸出4-20mA數據(jù)信號供客戶的PLC呈現(xiàn)電源的(de)輸出電流電壓。電源的(de)功率因素達到(dào)0.95,電源輸出功率≥90%。