真空鍍膜有(yǒu)蒸發鍍膜、濺射鍍膜(mó)和(hé)離(lí)子鍍膜三(sān)種形式:當濺射鍍膜用高能粒子轟擊固體表麵時,可以獲得固體表麵的粒子。能量從(cóng)表麵逸出並沉(chén)積在基板上;離子鍍蒸發(fā)物(wù)質(zhì)的分子通過電子撞擊被電離,並以(yǐ)離子的形式沉積在固體表麵。
所有三種形式的真空(kōng)鍍膜技術(shù)都需要快速冷卻裝置來輔助真空鍍膜過程。由於工件在鍍膜過程(chéng)中處於封閉的真(zhēn)空環境中,真空設備失去了很多產品技術和性能。現有的真空鍍(dù)膜設備也有冷卻裝置,但其冷卻效果不是很理想。
不能滿足人們的需要,為彌補現有技術的不足,真空鍍膜電源廠家提供一種真空鍍膜設備(bèi)手套箱蒸發(fā)一體機。該係統集成了真空鍍膜係統和手套箱係統,可在高真空蒸發(fā)室中(zhōng)完成(chéng)薄膜蒸發。樣(yàng)品在手套(tào)箱中的高純度惰性氣體氣氛下蒸發後儲存、製備和測試。為保證塗層產品工藝和性能質量要求而設置的快速冷卻係統,可實現快速冷卻自動控製的目的。
蒸發鍍膜與手套箱相結合,實現了蒸發、封裝、測試等過程的全封閉(bì)生產(chǎn),使整個薄膜生長和器件製備過程高度集成在一個環境(jìng)氣氛可控的完整係統中,無需有機大-區域電路準備。大氣環境中不穩定因素的影響,保證了高性能、大(dà)麵積有機光電(diàn)器件和電路的(de)製備。