真空鍍(dù)膜是一種通過物理方法生產(chǎn)薄膜材料的技術。在真空(kōng)室中,材料的原子從加熱源中分離出來,撞(zhuàng)擊(jī)在被鍍物體的表麵上。真空鍍膜機在正常工作(zuò)情況(kuàng)下(xià),通(tōng)電時必須先打開水管,工作中要隨時注(zhù)意水壓。
真空(kōng)鍍膜電源在離子(zǐ)轟擊蒸發過程中,要特別注(zhù)意高壓線接頭,不要(yào)觸碰,以防觸電。用電子槍鍍(dù)膜時,應在鍾罩外(wài)圍放一塊鋁板。觀察窗的玻璃好是鉛玻(bō)璃,觀察時應佩戴鉛玻璃眼鏡,防止X射線對人體造成傷害。
在鍍多(duō)層介質膜(mó)的鍍層室內,應安裝通風除塵裝置,及時清除有害粉塵。易燃、有毒物品應妥善保管,防止火災中毒。酸洗夾具應在通(tōng)風設備中進(jìn)行,並應(yīng)戴上橡膠手(shǒu)套。將零件放入酸洗或堿洗槽時,應輕拿輕放(fàng),不(bú)得碰撞、濺水。通常酸洗槽應(yīng)加蓋。
真空鍍膜有蒸發鍍膜、濺射(shè)鍍膜和離子鍍三(sān)種形式:當濺射鍍膜用高能粒子轟擊固體表麵時,可以獲得固體(tǐ)表麵的粒子。能量從表麵逸出並沉積在基板上;離子鍍(dù)蒸發物質的分子通過電子撞擊被電離,並以離子的形式(shì)沉積在固(gù)體表麵。所有三種形式的真空鍍膜技術都需要快速(sù)冷卻裝置來輔助真空鍍膜過程(chéng)。
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