脈衝磁（cí）控濺射是一種用矩形波電壓（yā）脈衝電源代替（tì）傳統直流（liú）電源的方法。脈衝濺（jiàn）射可以有效抑製電弧的（de）產生，消除（chú）由此產生的薄膜缺陷（xiàn），同時可（kě）以（yǐ）提高濺射的沉積速率，降低沉（chén）積溫度等（děng）一係列顯著優點（diǎn），是（shì）濺（jiàn）射絕緣材料沉積的工藝。脈衝磁控（kòng）濺射的工作原理一個周期有正電壓

說起單極脈衝（chōng）磁控濺射電源，可能（néng）有點困惑，但我想說的是（shì），它是對直流磁控濺射電源的升級，是不是（shì）突然明（míng）白了（le）？脈衝磁控（kòng）濺射是用矩（jǔ）形波電壓脈衝電源代替（tì）傳（chuán）統直（zhí）流電源的一種方法。脈衝（chōng）濺射可以有效地抑製電弧的（de）產生，消除由此產（chǎn）生（shēng）的薄膜缺陷，同時可（kě）以提高濺射的