北（běi）京MSD係列小功率直流（liú）磁控濺（jiàn）射（shè）電源

主要型號：

主要特點：
   A 采用先進的電流型開關電源技術，減（jiǎn）小輸出儲能元（yuán）件，
同（tóng）時提高了抑製打火及重啟（qǐ）速度，應用在鋁靶鍍膜優勢更為明（míng）顯（xiǎn）。
   B 具（jù）備恒流/恒功率模式可選。恒功率模式相對於傳統（tǒng）的恒流模式，
更能保（bǎo）證鍍膜工藝的重複性。
  C 具有（yǒu）理想的電壓陡降特性（xìng），自動識別偽打火現象，
充分滿足磁控濺射工藝過（guò）程的連續性。
  D 可選擇手動控製/模擬量（liàng）接口控（kòng）製，可選配RS485通訊（xùn）接口。
  E 專門為試驗型真（zhēn）空設備定製，相對生產型（xíng）設備的直流（liú）磁（cí）控濺射電源，
為客戶減（jiǎn）小電源體積和降低（dī）成本
采用先進的PWM脈寬調製技術，使用進口IGBT或MOSFET作（zuò）為功率開關器件，
體積小、重量輕、功（gōng）能全、性能穩定可靠，生產工藝嚴格（gé）完善。
該係列產品采用先進（jìn）的DSP控（kòng）製係（xì）統，充分保證鍍膜（mó）工藝的重（chóng）複性，
並且具（jù）有抑製靶材弧（hú）光放電（diàn）及抗短路功能，
具有極佳的（de）負載匹配能（néng）力，既保證了靶麵清洗工（gōng）藝的穩定性，又提高了靶麵清洗速度；
主要參數均可大範圍連續調節；
方（fāng）便維（wéi）護，可靠性高（gāo）；
PLC接口和RS485接口擴展功能，方便實現自動（dòng）化控製。

主要用途：

直流磁控濺射用於（yú）鍍製各（gè）種金（jīn）屬。

真空鍍膜電源的（de）故障現象分析（xī）及排除，在實際使用的過程中，真空鍍膜機就出現過不少故障，其中高壓電源部分的故（gù）障較多，也比較複雜，下麵就（jiù）幾種典型的故障進行分析。

1、增（zēng）加（jiā）電子束流時，高壓沒有指示

真空（kōng）鍍膜（mó）機在正常工（gōng）作的時候，設備的主開關電路中的開（kāi）關（guān）管處（chù）於飽和的導（dǎo）通狀態，當管壓下降保持在100V左右的（de）時候，柵極（jí）得到正偏壓（yā）50V，高壓指示6kV（或10kV）。從檢測電路上得到的電壓（yā）控製信號不足以使穩壓管擊穿導通。在不正常的情況下，增加束流時，由於束斑的位置不在（zài）中心，電子束可能會打（dǎ）到坩堝的邊緣（yuán），或者束斑的位置在中心，但蒸鍍的材料被打穿等原因，都會出現高壓無指示。這是由於高壓輸（shū）出被（bèi）近似短路，造成電子束流大於預定的值，主開關管處於截（jié）止狀態，承受全部的高壓，讓高壓（yā）無法輸出。由於打火而造成束流過大的時候，在電流（liú）檢測（cè）電路時取得的過流信號，使得穩（wěn）壓管被擊穿導通（tōng），管壓處於導通狀態，這時高壓就沒有指示了。

2、無束流時，高（gāo）壓指示不穩定

在正常的情況下，即使有束流高壓指（zhǐ）示也應該是穩（wěn）定的，無束流時高壓指示不穩（wěn）定，高壓表指針就會來回（huí）的擺動，這就是不正常情況。從原理（lǐ）上分析（xī），高壓電源和負載有問題都會出現這種現象。為了便於排查，先將高壓電源和負（fù）載分開，如果問題還在（zài），就證明問題不在負載那方麵，而（ér）是在高壓（yā）電源那方麵，高壓電（diàn）源是由高壓部（bù）分（fèn）和自動電（diàn）源的主開關管進行切斷的。當有束流時，高壓指示頻繁的擺動，就是高壓（yā）出現連續性的（de）過流（liú）打火，自動複位（wèi）部分就開始運行，使得高壓電源的主開關管始終處在切（qiē）斷和導通這兩種狀態，反映在高壓表上的指針就（jiù）金頻繁的（de）擺（bǎi）動。在實際的修理過程中發現，有時會（huì）出現這種故障並不是由於高（gāo）壓電源內部的原因，而是真空室內有汙染，因為設備使用了很（hěn）多年，鍾罩內壁上聚（jù）集了許多蒸鍍的材料。在有束流的（de）情況下，會產生二次、三次電子（zǐ），從（cóng）而產生較大的假束流，使得主開（kāi）關管不停的導通和截止，高壓指示就不穩（wěn）定了。消除這種故障，可先將電（diàn）子（zǐ）槍、坩鍋、高壓電極進行徹底地清洗，如味故障還沒有補消除，再將鍾罩內所有的器件和鍾罩內壁進行徹底的清洗，故障就會被消除，高壓指示（shì）就不（bú）會在頻繁的擺動了。