江蘇MSD係列小（xiǎo）功率直流磁控濺射電源

主要型號：

主要特點：
   A 采用先進（jìn）的（de）電流（liú）型開關電源技術（shù），減小輸出儲能元件，
同時提高了抑製（zhì）打火及重啟速度，應用在鋁靶鍍膜優勢更為明顯。
   B 具備恒流/恒（héng）功率模式可選。恒功率（lǜ）模式（shì）相對於傳統的恒（héng）流模式（shì），
更能保證（zhèng）鍍膜工藝的重（chóng）複性。
  C 具有理想的電壓陡降特性，自動識別偽打（dǎ）火現象（xiàng），
充分（fèn）滿（mǎn）足磁控濺射工藝過程的（de）連續（xù）性。
  D 可選擇手動控製/模擬量接口控製，可選配RS485通訊接口。
  E 專門為試驗型真空設備定製，相對生產型設備的直流磁控濺射電源，
為客戶減小電源體積和降低成本
采用先進的（de）PWM脈寬調（diào）製技術，使用進口IGBT或MOSFET作為功率開關器件，
體積小、重量輕、功能（néng）全、性能穩定可靠，生產（chǎn）工藝嚴格完善（shàn）。
該係列產（chǎn）品采用先進的（de）DSP控製係統，充（chōng）分保證鍍膜工（gōng）藝的重複性，
並且具有抑製靶材弧光放電及抗短（duǎn）路功能（néng），
具有極佳的負載匹配能力，既保證了靶麵清洗工藝的穩定性，又提高了靶麵清洗速度；
主要參數均（jun1）可大範圍連續調節；
方便（biàn）維護，可（kě）靠性高；
PLC接口（kǒu）和RS485接口擴展功能，方便實現自動化控製。

主要用途：

直流磁控濺射用於鍍製各種金屬。

真空鍍膜電源的故障現象分析及排除，在實際使用的過程中，真空鍍膜機就出現過不少（shǎo）故障，其中高壓電源部分的故障較多，也比較複雜，下麵就幾種典型的故障進行分析。

1、增加電子束流時（shí），高壓沒有指示

真空鍍膜機在正（zhèng）常工作的時（shí）候，設備的主開關電路中的開（kāi）關管（guǎn）處於飽和的導通狀態，當管壓下降保持在100V左右的時候，柵極得到正偏壓50V，高壓指示6kV（或10kV）。從檢（jiǎn）測電路上得到的電壓控製信號不足以使穩壓管擊穿導通。在不正常的情況下（xià），增（zēng）加束流時，由於束斑的位置不（bú）在中心，電子束可能會打到坩堝的邊緣，或者束斑的位（wèi）置在中心，但蒸鍍的材料被打穿等原因，都（dōu）會出現高壓無指示。這是由於（yú）高壓輸出被近（jìn）似短路，造成電子束流大（dà）於預定的值，主開關管處於截（jié）止狀態，承受全部的高壓，讓高（gāo）壓無法輸出。由於打火而造成束流過大的時候，在電流檢測（cè）電（diàn）路時取（qǔ）得的過流信號（hào），使得穩壓管被擊穿（chuān）導通，管壓處於導（dǎo）通狀態，這時高壓就沒有指示了。

2、無束流時，高壓指示不穩定

在正常的情（qíng）況（kuàng）下，即使有束流（liú）高壓指示（shì）也應該是穩定的，無束流時高壓指示不穩定，高壓表指針就會（huì）來回的（de）擺動（dòng），這就是不正常情況（kuàng）。從原理上分析，高壓電源和負（fù）載有問題都會出現這種現象。為了便於排查（chá），先將（jiāng）高壓電源和負載分開，如果問題還在，就證明問題不在負載那方麵，而是在高壓電源那方麵，高壓電源是由高（gāo）壓部分和（hé）自動電源的主（zhǔ）開（kāi）關管進行切（qiē）斷的。當有束流時，高（gāo）壓指示頻繁的擺動，就是高壓出現連續性的過流打火，自（zì）動複位部分就開始運行，使得高壓電源的（de）主開關管始（shǐ）終處在切斷和導通這兩種狀（zhuàng）態（tài），反映在高壓表上的指針就金頻繁的擺（bǎi）動。在實際的修理過程中（zhōng）發現，有（yǒu）時會出現（xiàn）這種故障並不是由於高壓（yā）電源（yuán）內部的原因，而是真空室（shì）內有汙（wū）染，因為設備使用了很多年，鍾罩（zhào）內壁上聚集了許多蒸鍍的材（cái）料。在有（yǒu）束流的情況下，會產生（shēng）二次、三次電子，從而（ér）產生較大的（de）假束流，使得主開關管（guǎn）不停（tíng）的導通（tōng）和截止，高壓指示就不（bú）穩（wěn）定了。消除這種故（gù）障，可先將電子槍、坩鍋、高壓（yā）電極進行徹底地清洗，如味故（gù）障還沒有補消除，再將鍾罩內所有（yǒu）的器件和鍾罩內壁進行徹底的清洗（xǐ），故障就會被消除，高壓（yā）指示就不會在頻繁的擺動了。