上海MSD係列小功率直流磁控濺射電源

主要（yào）型號：

主要特點：
   A 采用先進的電流型開關（guān）電源技術，減小輸出儲能（néng）元件，
同時提（tí）高了抑製打火及重啟速度，應用在鋁靶鍍膜優勢更為明顯。
   B 具備恒流/恒功（gōng）率模式可選。恒功率模（mó）式相對於傳統的恒流模式，
更能保證鍍膜工藝的重複性。
  C 具（jù）有理想的電壓陡（dǒu）降特（tè）性，自動識（shí）別偽打火現象，
充分滿足磁控濺射（shè）工藝過程的連續性。
  D 可選擇手動（dòng）控製/模擬量接口控製，可選配RS485通訊接口。
  E 專（zhuān）門為試驗型真空設（shè）備定製，相對生產型設備的直流磁控濺射電源，
為客戶減小電源體積和降低成（chéng）本
采用先進的PWM脈寬調製技術，使用進口（kǒu）IGBT或MOSFET作為（wéi）功率開關器件，
體（tǐ）積小、重量輕、功能全（quán）、性能穩定可靠，生產工藝嚴格完善。
該（gāi）係列產品采用先進的DSP控製係統，充分保證（zhèng）鍍膜工藝的重（chóng）複性，
並且具有抑製靶材弧光（guāng）放電及抗短路功能，
具有極佳的負（fù）載匹配能力，既保證了靶麵（miàn）清洗工藝的穩定性，又提高了靶麵（miàn）清洗速度；
主要參數均可大範圍連續調節；
方便維護，可靠性（xìng）高；
PLC接口和RS485接口擴展功能，方便實現自動化控製。

主要用途：

直流磁控濺射用於鍍（dù）製各（gè）種金屬。

真空鍍膜電源的故障現象分析及排除，在實際使用的過程中，真空鍍膜機就（jiù）出現過不少（shǎo）故障，其中高壓電源部分的故障較多，也比較複雜，下麵（miàn）就幾種典（diǎn）型的故障進行分析。

1、增加電子束流時，高壓沒有指示（shì）

真空鍍膜機在正常工作的時（shí）候，設備的主（zhǔ）開（kāi）關電路（lù）中的開關管處於飽和的導通（tōng）狀態（tài），當管（guǎn）壓下降保持（chí）在100V左右的時（shí）候，柵極得到（dào）正偏壓50V，高壓指示6kV（或10kV）。從檢測電路上（shàng）得到的電壓控製信號（hào）不足以（yǐ）使（shǐ）穩壓管擊穿導通。在不正（zhèng）常的情況下，增加束流時，由於（yú）束（shù）斑的位置不在中心，電子束可能會（huì）打到坩堝的邊緣，或者束斑的位置（zhì）在中心，但蒸鍍的材料被打穿等原因，都會出現高壓無指示。這是由於高壓輸出被近似短路，造成電子束流大於預定的（de）值，主開關管處於截（jié）止狀（zhuàng）態（tài），承（chéng）受全部的（de）高壓，讓高壓無法輸出。由於打（dǎ）火而造成束流過大的時候，在電（diàn）流檢（jiǎn）測電路時取得的過流信號，使得穩壓管被擊（jī）穿導通，管壓處於導通狀態，這時高壓就沒有指示了。

2、無束流時，高壓指示不穩定

在正常的（de）情況下，即使（shǐ）有束流高壓指示也（yě）應該是穩定的，無束流時（shí）高壓指示不穩定，高壓表指（zhǐ）針就會來回的（de）擺（bǎi）動，這就是（shì）不正常（cháng）情況。從原理上分析，高壓電源和負載有問題都會出現這種現象（xiàng）。為了便於排查，先將高壓電源（yuán）和負載分開，如果問題還在，就證明問題不在負載那方麵，而是在高壓電（diàn）源那方麵，高壓電（diàn）源是由高壓部分和自動電源的主開（kāi）關管進行切斷的。當有束流時，高壓指示（shì）頻繁的擺動，就（jiù）是高壓（yā）出現連續性的過流打火，自動複位部分就開始運（yùn）行（háng），使得高壓電（diàn）源的主（zhǔ）開關管始終（zhōng）處在切斷和導通這兩種狀態，反映在高（gāo）壓表（biǎo）上的指（zhǐ）針就金頻繁的擺動。在實際的修理過程中發現，有時會出現這種故障並不是由於高壓電源內部的原因，而是真空室內有汙染，因為設備使用了很（hěn）多年，鍾罩內壁上聚集了許多蒸鍍的材料。在有束流（liú）的情況下，會產生二（èr）次、三次（cì）電子，從而產生較大的假束流，使得主開關管不停的導通和截（jié）止，高壓指示就不穩定了。消除這種故障（zhàng），可先將電子槍、坩鍋、高壓電（diàn）極進行徹底地清洗，如味故障（zhàng）還沒有補消除，再將鍾罩（zhào）內所有的器件和鍾罩內壁進行（háng）徹底（dǐ）的清洗，故障就會被消除，高壓指示就不會在頻繁（fán）的擺動了（le）。